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Plasmaunterstützte Abscheidung und Charakterisierung von Siliziumnitridfilmen

Name: Plasmaunterstützte Abscheidung und Charakterisierung von Siliziumnitridfilmen
Brand: Stefan Zaengler
SKU: 8217459

Brand : Books on Demand, Binding : Taschenbuch, Edition : 1., Label : GRIN Verlag, Publisher : GRIN Verlag, medium : Taschenbuch, numberOfPages : 56, publicationDate : 2021-06-09, authors : Stefan Zaengler, ISBN : 3346377318

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Plasmaunterstützte Abscheidung und Charakterisierung von Siliziumnitridfilmen