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Niederdruckplasmen und Mikrostrukturtechnik
Binding : Taschenbuch, Edition : Softcover reprint of the original 3rd ed. 2004, Label : Springer, Publisher : Springer, medium : Taschenbuch, numberOfPages : 564, publicationDate : 2003-12-02, releaseDate : 2003-12-02, authors : Gerhard Franz, languages : german, ISBN : 3642622844
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