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Langzeitstabilität der Innendrücke von Kavernen benachbarter MEMS-Sensoren auf Siliziumbasis (Schriften des Instituts für Mikrostrukturtechnik am ... / Hrsg.: Institut für Mikrostrukturtechnik)

Name: Langzeitstabilität der Innendrücke von Kavernen benachbarter MEMS-Sensoren auf Siliziumbasis (Schriften des Instituts für Mikrostrukturtechnik am ... / Hrsg.: Institut für Mikrostrukturtechnik)
Brand: Marlene Kopf
SKU: 5818490

Binding : Taschenbuch, Label : KIT Scientific Publishing, Publisher : KIT Scientific Publishing, medium : Taschenbuch, numberOfPages : 220, publicationDate : 2022-03-31, authors : Marlene Kopf, ISBN : 3731511215

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Langzeitstabilität der Innendrücke von Kavernen benachbarter MEMS-Sensoren auf Siliziumbasis (Schriften des Instituts für Mikrostrukturtechnik am ... / Hrsg.: Institut für Mikrostrukturtechnik)