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Die Kombination von Plasmanitrierung und plasmagestützter Schichtabscheidung aus der Gasphase (Pacvd) in einem Verfahrensablauf (IPA-IAO - Forschung und Praxis, 268, Band 268)
Brand : Springer, Binding : Taschenbuch, Edition : 1, Label : Springer, Publisher : Springer, medium : Taschenbuch, numberOfPages : 152, publicationDate : 2013-10-04, releaseDate : 2013-10-04, authors : Oliver Morlok, ISBN : 3540645675
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