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Die besonderen Bedingungen der Abscheidung von diamantähnlichen Kohlenstoffschichten in Hohlkathodenanordnungen mit hohen Aspektverhältnissen

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Die besonderen Bedingungen der Abscheidung von diamantähnlichen Kohlenstoffschichten in Hohlkathodenanordnungen mit hohen Aspektverhältnissen

Binding : Taschenbuch, Label : TU Ilmenau Universitätsbibliothek, Publisher : TU Ilmenau Universitätsbibliothek, medium : Taschenbuch, numberOfPages : 203, publicationDate : 2019-01-31, releaseDate : 2019-01-31, authors : Andreas Benkenstein, ISBN : 3863602005

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