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Development of High Performance Piezoelectric AlScN for Microelectromechanical Systems: Towards a Ferroelectric Wurtzite Structure

Name: Development of High Performance Piezoelectric AlScN for Microelectromechanical Systems: Towards a Ferroelectric Wurtzite Structure
Brand: Simon Fichtner
SKU: 5705753

Brand : Books on Demand, Binding : Taschenbuch, Edition : 1, Label : BoD – Books on Demand, Publisher : BoD – Books on Demand, medium : Taschenbuch, numberOfPages : 178, publicationDate : 2020-02-18, authors : Simon Fichtner, ISBN : 3750431426

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Development of High Performance Piezoelectric AlScN for Microelectromechanical Systems: Towards a Ferroelectric Wurtzite Structure