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Bewertung neuartiger metallorganischer Precursoren für die chemische Gasphasenabscheidung von Kupfer für Metallisierungssysteme der Mikroelektronik: Diplomarbeit

Name: Bewertung neuartiger metallorganischer Precursoren für die chemische Gasphasenabscheidung von Kupfer für Metallisierungssysteme der Mikroelektronik: Diplomarbeit
Brand: Thomas Wachtler
SKU: 9417261

Brand : GRIN Verlag, Binding : Taschenbuch, Edition : 3., Label : GRIN Verlag, Publisher : GRIN Verlag, medium : Taschenbuch, numberOfPages : 104, publicationDate : 2008-06-17, authors : Thomas Wachtler, ISBN : 3638949117

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Bewertung neuartiger metallorganischer Precursoren für die chemische Gasphasenabscheidung von Kupfer für Metallisierungssysteme der Mikroelektronik: Diplomarbeit