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Beiträge zur Technologieentwicklung für die Erzeugung von Airgap-Strukturen in Metallisierungssystemen in integrierten Schaltkreisen
Brand : GRIN Verlag, Binding : Taschenbuch, Edition : 3., Label : GRIN Verlag, Publisher : GRIN Verlag, medium : Taschenbuch, numberOfPages : 288, publicationDate : 2009-04-15, authors : Knut Schulze, ISBN : 3640294521
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